SPIE AL 2023
Elektronenstrahl-Lithographie ist eine Schlüsseltechnologie sowohl für die Halbleiterfertigung als auch die Mikro- und Nanoprozessierung. Die Elektronenstrahl-Belichtungsanlagen von Vistec zeichnen sich durch das Formstrahl Prinzip, sowie ihre hohe Automatisierung und Flexibilität aus. Dadurch sind sie bestens für den Einsatz in Angewandter Forschung und industrieller Produktion geeignet, da es insbesondere in diesen Bereichen auf effiziente und reproduzierbare Belichtung kompletter Substrate oder Lose mit hoher Qualität ankommt.
Die Anwendungen reichen von Mikro-und Nanoelektronik über integrierte Optik und Photonik bis hin zur Nano- und Biotechnologie. Beliebige Layouts können mit hoher Auflösung direkt auf Wafer oder Masken geschrieben werden, wie z.B. elektronische Schaltkreise, diffraktive optische Elemente oder Metamaterialien.
Effiziente Datenprozessierung & optimierte Schreibstrategien eröffnen neue Einsatzgebiete, wie zum Beispiel im Bereich AR/VR (Augmented/Virtual Reality).
Die Fähigkeit zum maskenlosen Schreiben mit dem Elektronenstrahl erlaubt ein hohes Maß an Flexibilität für die Herstellung neuer Bauelemente, für kleinvolumige Serienproduktion, das Schreiben kritischer Strukturen in Multi-Schicht-Systemen, oder die Herstellung von Templates für die Massenproduktion.
Unsere Lithographie-Systeme werden vor allem in drei Märkten genutzt
Beim Direktschreiben auf Verbindungs-Halbleitermaterialien bieten unsere Lithographieanlagen die Zuverlässigkeit und Stabilität, die in 24/7 Produktion benötigt werden. Die Verwendbarkeit verschiedener Substrattypen und vollautomatische Handlings- und Alignmentroutinen ermöglichen eine hohe Flexibilität.
Wir beliefern industrielle Hersteller von Masken für die optische Lithographie. Außerdem lassen sich Glassubstrate z.B. für Mikrooptiken in hervorragender Qualität und hoher Genauigkeit mit unseren Anlagen strukturieren. Eine weitere Anwendung ist das Schreiben von Templates zur Massenfertigung kleiner Strukturen wie z.B. Metamaterialien auf großen Flächen.
Unsere Kunden im Bereich Angewandte Forschung beschäftigen sich mit zahlreichen innovativen Anwendungen. Dazu gehören u.a. Entwicklung und Herstellung von Bauelementen für Quantencomputing, MEMS/NEMS oder Biosensorik oder Lösungen im Bereich Photonik. Flexibilität und die Möglichkeit auch anwendungsrelevante Flächen in sinnvollen Zeiten zu strukturieren sind dafür von großer Bedeutung.