- Linien-Maßstäben (Stage Mikrometer)
- Zweidimensionale Kalibrierstandards (Arrays von Kreuzen oder Kreisen)
- Mittelpunktkoordinate, Durchmesser und Rundheit von Chrom-Kreisen
- Gitter-Orthogonalität und Winkel zwischen Mikrostrukturen
- Linienbreite von Mikrostrukturen
Kontakt
Herr Uwe Schinkel
Telefon: +49 3641 7998 175
Fax: +49 3641 7998 222
measurement@vistec-semi.com