Unser Unternehmen
Die Vistec Electron Beam GmbH ist ein deutscher weltweit agierender Hersteller von Elektronenstrahl-Belichtungsanlagen, die sowohl in der Halbleiterindustrie, in der Mikro – und Nanooptik als auch in der Angewandten Forschung für vielfältige Anwendungen im Bereich der Mikro – und Nanostrukturierung zum Einsatz kommen.
Die Elektronenstrahl-Belichtungsanlagen von Vistec beruhen auf dem Variablen Formstrahl Prinzip (VSB – Variable Shaped Beam). Bei diesem elektronen-optischen Abbildungsverfahren erfolgt die Strukturierung des Resist-beschichteten Substrates durch einen Elektronenstrahl mit homogener Intensitätsverteilung, wobei Größe und Format des Strahls verändert werden können. Das Format des Elektronenstrahls kann darüber hinaus auch komplexere Strukturen, sogenannte Zellen, enthalten. Durch die verwendeten Technologien sollen insbesondere höhere Geschwindigkeiten für das Elektronenstrahlschreiben erreicht werden.
Unsere Historie
Die Wurzeln der Firma gehen zurück auf Carl Zeiss Jena. Bereits in den frühen 1970er Jahren wurde die erste kommerzielle Elektronenstrahl-Belichtungsanlage aus Jena auf der Basis des VSB-Prinzips vorgestellt. Hauptabnehmer der sogenannten ZBAs (Zeiss-Belichtung-Anlage) waren die damaligen RGW (sozialistischen) Länder. Nach der politischen Wende in den 1990er Jahren in Deutschland wurde die Elektronenstrahl-Lithographie zunächst unter den Dächern der Jenoptik und später Leica Microsystems fortgeführt. Seit 1996 firmiert die Elektronenstrahl-Lithographie als GmbH, seit 2006 mit dem Namen Vistec Electron Beam GmbH. Nach mehreren Jahren Zugehörigkeit zu einem strategischen Finanzinvestor ist die Vistec Electron Beam GmbH seit 2012 eine Tochter der DR.-JOHANNES-HEIDENHAIN GmbH.
Die Firma beschäftigt weltweit mehr als 110 Mitarbeiter. Neben dem Hauptstandort in Jena betreibt die Firma Service- und Support-Zentren in Asien, den USA und in Europa.
Vistec Electron Beam profitiert von den Synergien zwischen Spitzenforschungsinstituten, kleinen und mittelständischen Ausrüstungs- und Zulieferbetrieben sowie Technologieunternehmen in Jena und Mitteldeutschland.
Vistec ist DIN EN ISO 9001:2015 zertifiziert.