Die Vistec Electron Beam GmbH entwickelt seit mehr als vier Jahrzehnten leistungsfähige Elektronenstrahl-Belichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und die Angewandte Forschung. Basierend auf dem Prinzip des variablen Formstrahls (Variable Shaped Beam / VSB) finden die Anlagen für die verschiedensten direkten Strukturierungen ihre Anwendung, wie z.B. zur direkten Strukturerzeugung auf Silizium- und Verbindungshalbleiter- Wafern, zur Fertigung von Photomasken und bei Anwendungen in der integrierten Optik und Photonik.
